Reinraumreinigung · ASML GSA

Reinigung nach Grade 2.

Grade 2 ist der strengere der beiden Reinigungsgrade im Generic Standard of ASML (GSA): enge Grenzwerte für Partikel und molekulare Verunreinigung, für Vakuum- und Maschinenteile der Halbleiterindustrie. Wir reinigen Teile aus Edelstahl und Titan nach Grade 2, prüfen sie und liefern sie vakuumverpackt mit Reinheitszertifikat.

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LGESAMTE SCHRAUBEELEKTROPOLIERT + KOLSTERISIERTEPK = ELEKTROPOLIERT + KOLSTERISIERT
2

Was Grade 2 bedeutet.

  • Enge Grenzwerte für Partikel und molekulare Verunreinigung
  • Saubere Handhabung von der Fertigung bis zur Verpackung
  • Kein Kontakt mit bloßen Händen
  • Nur freigegebene Schmierstoffe
Typische Anwendung: Teile für Vakuum und den Einsatz in HalbleitermaschinenReinräume der ISO-Klasse 5–7Vakuumverpackt zu je 5, 10, 25, 50 oder 100ReinheitszertifikatRückverfolgbarkeit pro Los

Geprüft vor dem Zertifikat.

Die Reinheit wird geprüft, bevor das Reinheitszertifikat ausgestellt wird – in einem Qualitätsmanagementsystem nach ISO 9001:2015, mit vollständiger Losrückverfolgbarkeit.

  1. 01SichtprüfungDie Teile werden auf sichtbare Verunreinigungen und Rückstände geprüft.
  2. 02PartikelmessungPartikel auf der Oberfläche werden gegen die Grenzwerte des Grades gemessen.
  3. 03RGA / AusgasungDie Restgasanalyse zeigt, was ein Teil im Vakuum abgibt.

Ab Lager, nach Ihrer Zeichnung oder Ihre eigenen Teile.

EPK-Teile ab Lager3–4 Wochen

100.000+ elektropolierte und kolsterisierte Teile aus A2 und A4 auf Lager – Innensechskantschrauben, Sechskantmuttern, Scheiben und Zylinderstifte, Reinigung inklusive.

Ihre eigenen Teile2–3 Wochen

Ihre Verbindungselemente und Dreh- oder Frästeile aus Edelstahl oder Titan, gereinigt nach Grade 2 oder Grade 4 und vakuumverpackt zurückgesandt. EPK auf Anfrage.

SonderteileNach Ihrer Zeichnung

Teile aus Edelstahl oder Titan nach Ihrer Zeichnung, mit oder ohne Entlüftungsbohrung – gleiche Reinigung und Vakuumverpackung.

Brauchen Sie die Standard-Reinraumstufe?

Grade 4 ist die Standard-Reinraumstufe, typisch für die Reinraummontage außerhalb der kritischsten Zonen.

Reinigung nach Grade 2 – häufige Fragen.

Was ist die Reinigung nach Grade 2?
Der strengere der beiden Reinigungsgrade im Generic Standard of ASML (GSA). Enge Grenzwerte für Partikel und molekulare Verunreinigung, mit sauberer Handhabung von der Fertigung bis zur Verpackung – kein Kontakt mit bloßen Händen, nur freigegebene Schmierstoffe. Typische Anwendung: Vakuum- und Maschinenteile für die Halbleiterindustrie.
Wann brauchen Sie Grade 2 statt Grade 4?
Wenn Ihre Spezifikation es verlangt – typischerweise für Vakuum- und Maschinenteile der Halbleiterindustrie. Grade 4, die Standard-Reinraumstufe, ist typisch für die Reinraummontage außerhalb der kritischsten Zonen.
Wie prüft HBS die Reinheit nach Grade 2?
Durch Sichtprüfung, Partikelmessung und RGA-/Ausgasungsanalyse, bevor das Reinheitszertifikat ausgestellt wird. Die Teile werden zu je 5, 10, 25, 50 oder 100 Stück vakuumverpackt und sind bis zu ihrem Los rückverfolgbar.
Wie schnell liefert HBS nach Grade 2 gereinigte Teile?
EPK-Teile ab Lager in 3–4 Wochen inklusive Reinigung; Ihre eigenen Teile aus Edelstahl oder Titan in 2–3 Wochen.
GRADE 2

Gereinigt nach Grade 2.

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